“低频源继续隔离。”
“任何人不许为了好奇去接线。”
李援朝哼了一声。
“谁敢手欠,我把他手套焊死。”
凌晨两点十七分。
专机冲上跑道。
四点零九分,上沪临港晶圆厂外,车队无声驶入。
核心无尘室外,许燃换上防静电服。
简瑶把长发压进帽子里,抬头看了他一眼。
“你闭关三十八小时,又飞了两千里。”
“还撑得住?”
许燃扣好腕带。
“晶圆比我脆。”
“先看它。”
无尘室的门打开。
里面没有几百吨级的euv光刻机,没有轰鸣的锡滴激光,也没有像树根一样爬满天花板的复杂管线。
中央只有一台黑银色底座。
烛龙。
它安静地立在那里,外圈的多极量子光场阵列像收拢的鳞片,晶圆台悬浮在真空腔下方。
没有刺眼的光束,只有一排排状态灯,按固定节奏明灭,像某种大型生物在呼吸。
秦立成迎上来,眼睛红得厉害。
“许总,九小时二十六分。”
“烛龙底座全程稳定。”
“表面势能模板偏差压到零点零三埃以内。”
“原子落位脱靶次数低于阈值。”
“整片晶圆流程完成。”
“现在就差电测。”
罗世钧站在一边,白眉下的眼睛亮得惊人。
“老头子以前觉得,绕开阿贝极限已经够狂了。”
“今天算是开眼。”
“你这是快把‘光刻’两个字直接扔进历史里了。”
张怀民戴着手套,手背上青筋暴起。
他死死盯着真空腔,像盯着一个刚出生的孩子。
“别说废话。”
“出片。”
秦立成抬手。
“机械臂准备。”
真空腔下方,银白色机械臂缓缓伸出。
第一批完成原子级并行制造的晶圆被托盘稳稳托起,送向检测台。
晶圆表面沉静,像一面黑镜。